双面氧化弯曲法研究钇对氧化膜内应力的影响

采用条状试样单面离子注入稀土钇双面氧化弯曲的氧化膜应力分析技术,研究了钇对形成Al_2O_3的合金和涂层氧化膜生长应力的影响,结果表明,在实验注入的剂量范围,钇能降低Co—30Cr—6Al溅射涂层上氧化膜应力,相反地增大了Fe一23Cr—5Al合金上氧化膜应力,认为其原因在于钇是否促进了氧化膜的塑性形变,另外,注入钇的Co—30Cr—6Al涂层初始氧化时膜内应力的变化与钇对涂层氧化机制的影响有关。