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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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用球滚接触疲劳法评定硬质薄膜的结合强度
, PP. 523-526
Keywords: 薄膜,结合强度,硬质薄膜,球滚接触疲劳法
Abstract:
采用滚动接触疲劳法对气相沉积硬质薄膜的结合强度进行了研究.结果表明,反映膜基结合强度的力学参量为界面最大剪应力幅.采用数值计算的方法,可以定量得到膜基界面处的应力分布.
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