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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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测定金属薄膜屈服强度的纳米压入法研究
, PP. 661-666
Keywords: 金属薄膜,屈服强度,纳米压入法,有限元法
Abstract:
利用有限元数值分析方法，对球形刚性压头压入由金属膜与硅基体组成的膜-基体系的加载过程进行了模拟计算．建立了薄膜硬化指数同载荷-位移曲线的特征值，屈服强度、硬化指数及杨氏模量同最大压入载荷间的关系．据此，可由纳米压入仪实测所得载荷-位移曲线的特征值与最大压入载荷，确定金属薄膜材料的应变硬化指数和屈服强度．
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