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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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HFCVD金刚石薄膜温度场的数值研究
, PP. 1228-1232
Keywords: 金刚石膜,辐照度,温度场,热传导
Abstract:
热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中,在热丝相关工艺参数取优化值的前提下,对热辐射平衡体系中衬底表面辐照度和衬底温度的空间分布进行了模拟计算,探讨了衬底横向热传导对衬底温度分布的影响.结果表明,在绝热边界和1000K恒温边界条件下,热传导都使衬底温度的空间分布均匀性明显优于纯热辐射下的温度分布.这些计算结果为大面积高质量金刚石膜的生长进一步提供了理论基础.
| [1] | Angus J C, Hayman C C. Science, 1988; 241: 913
|
| [2] | Yarbrough W A, Messier R. Science, 1990; 247: 688
|
| [3] | Bachmann P K, Leers D, Lydtin H. Diam Rel Mater, 1991;1: 1
|
| [4] | Jiang X, Schiffmann, Klages C P. Phys Rev, 1994; B50:8402
|
| [5] | Song G H, Sun C, Huang R F, Wen L S. Surf Coat Tech-nol, 2000; 18: 860
|
| [6] | Janson F, Machonkin M A, Kuhman D E. J Vac Sci Tech-nol A, 1990; 8: 3785
|
| [7] | Mark C M, Wen L H, Michael E C, David S D. J ApplPhys, 1994; 76: 7567
|
| [8] | Xu N, Zheng Z H, Zhang X F, Sun Z. Thin Film Sci Tech-nol, 1994; 7: 68（许 宁,郑志豪,张晓峰,孙 卓.薄膜科学与技术,1994;7:68）
|
| [9] | Song G H, Sun C, Wang B, Wang A Y, Huang R F, WenL S. Mater Lett, 2001; 48: 8
|
| [10] | Wolden C, Mitra S, Gleason K K. J App Phys, 1992; 72:3750
|
| [11] | Liu D Y, Huang R F, Yu J, Wen L S, Shi C X. Chin JMater Res, 1996; 10: 279（刘德义,黄荣芳,于 杰,闻立时,师昌绪.材料研究学报,1996; 10:279）
|
| [12] | Wang A Y, Sun C, Wang B, Gong J, Huang R F, Wen L S. Acta Metall Sin, 2001; 37: 1217（汪爱英,孙 超,王 冰,宫 骏,黄荣芳,闻立时.金属学报,2001;37:1217）
|
| [13] | Tao W S. Numerical Study of Heat Transfer. Xi'an: Xi'an Jiaotong University Press, 1995: 79（陶文铨.数值传热学.西安:西安交通大学出版社,1995:79）
|
| [14] | Glassbrenner G J, Slack G A. Phys Rev, 1964; 134: 1058
|
| [15] | Song G H, Sun C, Wang B; Huang R F, Wen L S. Chinese J Mater Res, 2000; 14: 609（宋贵宏,孙 超,王 冰,黄荣芳,闻立时.材料研究学报,2000; 14:609）
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