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ISSN: 2333-9721
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金属学报  2012 

电弧离子镀沉积磁性薄膜的研究

DOI: 10.3724/SP.J.1037.2012.00056, PP. 547-554

Keywords: 电弧离子镀,磁性材料,有限元方法,磁场分布,复合结构靶材

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Abstract:

研究了电弧离子镀磁性靶材使用过程中发生“跑弧”并导致靶材无法稳定刻蚀的问题.利用有限元方法(FEM)对外加磁场下非磁性靶材系统和磁性靶材系统中的磁场分布进行了模拟.研究了外磁场对电弧斑点运动的影响机理,并结合电弧斑点放电的物理机制,探讨了磁性靶材与低饱和蒸气压金属靶壳、绝缘陶瓷靶壳或软磁性金属靶壳组成复合结构靶材解决磁性靶材使用问题的可行性.结果表明,这3种复合结构靶材设计方案均能有效解决电弧离子镀磁性靶材“跑弧”问题.通过实验得到,在低饱和蒸气压金属或绝缘陶瓷靶壳设计方案里,靶材频繁引弧到弧斑能受控运动的转变温度为(136.6±23.0)℃.

References

[1]  Ueda K, Tabata H, Kawai T. Appl Phys Lett, 2001; 79: 988
[2]  Ramesh R, Spaldin N A. Nat Mater, 2007; 6: 21
[3]  Sharma P, Gupta A, Rao K V, Owens F J, Sharma R, Ahuja R, Guillen J M O, Johansson B, Gehring G A. Nat Mater, 2003; 2: 673
[4]  Bakonyi I, Burgstaller A, Socher W, Voitlander J,Toth-Kadar E, Lovas A, Ebert H, Wachtel E, Willmann N, Liebermann H H. Phys Rev, 1993; 47B: 14961
[5]  Kashiwagi M, Ido S. Vacuum, 1999; 53: 33
[6]  Huang J C A, Hu Y M, Yu C C. J Appl Phys, 1998; 83: 7046
[7]  Di G Q. Chin Pat, CN101570851A, 2009
[8]  (狄国庆. 中国专利, CN101570851A, 2009)
[9]  Chen J S, Lau S P, Zhang Y B, Sun Z, Tay B K, Sun C Q. Thin Solid Films, 2003; 443: 115
[10]  Wang Q M, Kim K H. Acta Mater, 2009; 57: 4974
[11]  Sun L, Li H K, Lin G Q, Dong C. J Vac Sci Technol, 2010; 28A: 1299
[12]  Chang Z K, Wan X S, Pei Z L, Gong J, Sun C. Surf Coat Technol, 2011; 205: 4690
[13]  Wang T G, Jeong D, Liu Y, Wang Q, Iyengar S, Melin S, Kim K H. Surf Coat Technol, 2012; 206: 2638
[14]  Lieberman M A, Lichtenberg A J, translated by Pu Y K, Zhu X M, Guo Z G, Wang J L, Mao Z G, Feng Y, Wang X,Song X B, Ma J, Zhang G L, Ma J X, Chen Y. Priciples of Plasma Discharges and Materials Processing. 2nd Ed.,Beijing: Science Press, 2007: 9
[15]  (Lieberman M A, Lichtenberg A J著, 蒲以康, 朱悉铭, 郭志刚, 王久丽, 毛志国, 冯阳, 王旭, 宋旭波,马杰, 张谷令, 马锦秀, 陈宇译. 等离子体放电原理与材料处理. 第二版. 北京: 科学出版社, 2007: 9)
[16]  Lang W C, Xiao J Q, Gong J, Sun C, Huang R F, Wen L S. Acta Metall Sin, 2010; 46: 372
[17]  (郎文昌, 肖金泉, 宫骏, 孙超, 黄荣芳, 闻立时. 金属学报, 2010; 46: 372)
[18]  Daalder J E. J Phys, 1983; 16D: L177
[19]  Drouet M G. IEEE Trans Plasma Sci, 1985; 13: 235
[20]  Beilis I I. IEEE Trans Plasma Sci, 2002; 30: 2124
[21]  Hantzsche E. IEEE Trans Plasma Sci, 2003; 31: 799
[22]  Lang W C, Xiao J Q, Gong J, Sun C, Huang R F, Wen L S. Vacuum, 2010; 84: 1111
[23]  Feng D, Qiu D R. Metal Physics. vol.4,Beijing: Science Press, 1998: 441
[24]  (冯端, 丘第荣著. 金属物理学. 第4卷, 北京: 科学出版社, 1998: 441)
[25]  Dai D S, Qian K M. Ferromagnetics. vol.1, Beijing: Science Press, 1987: 120
[26]  (戴道生, 钱昆明著, 铁磁学(上册). 第1卷, 北京: 科学出版社, 1987: 120)
[27]  Lang Y J, Che Y C. Thermodynamics Databook of Inorganic Matter.Shenyang: Northeast University Press, 1993: 513
[28]  (梁英教, 车荫昌编. 无机物热力学数据手册. 沈阳: 东北大学出版社, 1993: 513)

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