压电型宏微双驱动精密定位系统点位协调控制

设计了基于压电型微驱动器的宏微双驱动精密定位系统，宏动台由伺服电动机直接驱动，微动台由压电陶瓷驱动器和弹性铰链构成，并由压电陶瓷驱动器驱动。微动台安装在宏动台上，微动台和宏动台是串联关系。宏动台用于实现大行程微米级定位，而纳米级定位由微动台实现。利用基于运动控制卡的开放伺服功能来协调宏微工作台之间的控制，而位置反馈由两个高精度光栅完成，精度检测由激光干涉仪完成。当宏动台运动结束后，微动台根据测得的定位误差做出补偿进给。实验表明，在行程100mm的范围内每隔1mm采集一点，误差控制在±100nm以内。