扫描探针显微技术应用于工业技术领域的几个相关问题

前言80年代开始陆续发明的各类扫描探针显微镜(ScanningProbeMicroscope,简称SPM)首先是一种表面分析仪器。随着研究的探入,SPM自身功能和其应用领域在不断增强和扩大,在纳米材料学、纳米电子学、纳米生物学、纳米化学、纳米机械工程等方面都得到广泛应用。目前已有20多种扫描探针仪器可以得到原子或接近原子分辨率的各类物理特征图像。SPM主要用于自然科学的研究,但近年已有相当数量的SPM用于工业技术领域,成为解决工业技术问题的新工具。