微电子技术的又一次革命──微电子机械系统(MEMS)发展展望

引言MEMS一词由MicroElectroMechanicalSystem的4个字首组成,可译为微电子机械系统。MEMS的起源可以追溯到60年代,1989年后MEMS一词就渐渐成为一个世界性的学术用语,MEMS技术的研究开发也日益成为国际上的一个热点。与MEMS一词同时流行的还有MicroMachine（微机械）和MicroSystem（微系统）。它们都以微小（Micro）为特征,有的强调机械,有的强调系统,但当前人们常不加区别地与MEMS通用。