薄膜科学研究进展

薄膜科学在物理学与材料学科中已形成了一门分支学科。特别是半个世纪以来,电子学的发展需要新器件和新材料的突破,薄膜科学就是开发新材料和新器件非常重要的领域。电子器件的尺寸越来越小,40年代的真空管器件是几十厘米大小,60年代的器件是毫米大小,80年代的超大规模集成电路中的器件是微米大小,到2000年分子电子器件将是纳米量级的。这就要求研究亚微米和纳米的薄膜制备技术,并利用亚微米和纳米结构的薄膜制备各种新型功能器件。所有固体材料都能制成薄膜型材料,而薄膜是二维的,现在工业上所用的薄膜都是极薄的,从几十纳米到微米级,因此无论是什么薄膜材料强度都很低,需要基片支承。