纳米硅薄膜的最新进展及其在量子功能器件中的应用前景

引言正当进入21世纪之际,微电子工业面临一场新的技术革命。随着电路集成度的不断提高,必然要涉及到纳米量级的器件结构,这促使人们去思考一些全新的物理问题。早在80年代初,科学家们先后提出了具有纳米（urn）量级的量子线和量子点新概念。在这些微空间里电子的性质全部量子化,人们可利用这种量子化J"的全新特性设计出一系列具有更快逻辑功能的新型半导体量子功能器件。这些将是发展纳米电子学的基础。硅是重要的半导体材料,过去几十年里它在微电子学的发展中立下了汗马功劳。