多组份动态配气系统配气方法研究

采用一种精密流量标准气体配气装置──MF-5多组份动态配气系统，在温度和压力一定时控制各组份的流量进行动态配气，研究了该系统的配气精密度。实验表明，该装置配气稳定性好、精确度高，配制值与实测值相符。