退火温度对溅射氧化锌薄膜的影响

利用射频磁控溅射技术在玻璃基片上制备了高度C轴择优取向的纳米氧化锌（ZnO）薄膜，采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究了退火热处理温度对ZnO薄膜形貌、结构和内应力的影响规律。结果表明热处理可以明显改善薄膜的结晶质量，薄膜的晶粒变得致密，尺寸也变得均匀；(002)衍射面的晶面间距和内应力均低于未经热处理的样品；当温度高于450℃以后，薄膜的致密度反而下降，部分晶粒异常长大，随着退火温度的逐渐升高，ZnO薄膜(002)衍射面的晶面间距和内应力先减小，到450℃达到最小值，后又逐渐增大，可见450℃热处理后，薄膜的表面形貌、结构和内应力均得到很大的改善。