磁控溅射制备全固态薄膜锂离子二次电池及其性能研究

在SUS304不锈钢衬底上以粉末靶材为溅射靶源？利用射频磁控溅射技术制备出非晶态结构的V2O5、LiPON和LiMnO4薄膜？并借助扫描电子显微镜（SEM）测试手段对薄膜的形态进行表征。用此3种沉积的材料依次作为薄膜电池的负极、固体电解质和正极？金属钒则作为集电极？成功制备出全固态薄膜锂离子二次电池。实验结果表明？截止电位控制在0.3～4.0V之间测试时？该薄膜电池具有良好的充放电特性；经过500次循环后？其电化学性能趋于稳定？放电容量保持在2.67μAh/cm2左右；采用恒定电流为20μA进行循环性能测试时？首次放电容量达到4.41μAh/cm2？循环寿命则可达到1500次以上。