LY12铝合金表面多弧离子镀(Ti,Cr)N膜

研究在铝合金表面多弧离子镀(Ti,Cr)N膜的工艺可行性.利用正交试验确定最佳工艺参数,讨论靶材成分、沉积时间、偏压、氮气压力和弧电流对膜层性能和质量的影响,并对该膜层的耐蚀性能和摩擦学性能进行了研究.结果表明,铝合金表面可以沉积(Ti,Cr)N膜.当靶材成分为w(Ti)=80%,w(Cr)=20%,沉积时间为30min,偏压为200V,氮气压力为3.0Pa,弧电流为75A时,可得到膜基结合力为44N,膜厚为1.77μm的(Ti,Cr)N膜.