基于傅里叶变换移相测量的相位测量轮廓术

移相误差是移相法相位测量轮廓术的主要误差来源，提出一种对实际步进移相值进行测量，消除移相误差对相位测量影响的算法，该算法将傅里叶变换相位测量和移相法相位测量相结合，利用傅里叶变换相位原理测量每次移相的实际相移量，然后根据相移实测值计算相位分布，进而获得物体表面蝗三维数据。该算法能够准确测量每步移相的实际相移量，不要求移相的均匀性和重复性，只需３帧图像就可解调出相位分布，不受移相误差的影响。仿真结果证实了该算法的有效性，实际图像数据处理结果表明，该算法可以基本消除由移相引起的误差。