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ISSN: 2333-9721
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圆柱度计量标准的纳米级评定

Keywords: 最佳逼近,计量标准,圆柱度,纳米级测量

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Abstract:

探讨了圆度、圆柱度计量标准的纳米级评定方法,分析并验证了测量安装的下,上截面偏心量分别不大于1μm和2μm时,对圆柱度误差采用线性化模型及Abdelmalek算法的二元最佳一致逼近评定方法,可满足纳米级评定精度,提出了合理而直观表示圆柱度误差最小包容区域及其极点分布的轴线定位展开图和可旋转三维投影图,并已编制成整套评定软件,同时拟定出检定该评定软件可靠性、分辨力和精确度的检定方法。

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