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ISSN: 2333-9721
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电磁聚焦成象系统中曲轴宽电子束聚焦的象差理论

Keywords: 电子光学,电子束聚焦,象差,成象系统

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Abstract:

在宽电子束聚焦理论基础上,利用非正交旋转曲轴坐标,研究了电磁聚焦成象系统的曲轴象差理论。采用象差积分函数形式,导出了二级几何象差,主轨迹色球差和曲近轴色球差的象差系数,使结果适宜计算机处理,本结果已用于实际电磁聚焦成象系统的设计计算。

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