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Keywords: 测量,光束质量,CCD,光束宽度,激光束参数
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以ISO相关的标准为依据,经过深入的理论研究和精度分析设计了一套高精度光束质量测量系统。介绍了光束质量测量系统的理论基础,硬件的整体结构和软件的重要组成模块,并通过测量实验加以验证。研究表明,精确的CCD光束参数测量必须由一套科学级CCD系统和完备的软件计算算法组成。
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