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Keywords: 干涉计量学,瑞奇-康芒检验,波象差
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本文介绍如何通过计算机光线追迹模拟瑞奇-康芒(Ritchey-Common)检验,找出被检平面镜面形误差与检验系统波象差之间的相互关系,建立一组影响函数。根据分别在两个不同瑞奇角下求得的影响函数和测出的系统波象差,通过最小二乘法求解一组过定线性方程,即可求得被检平面镜的面形误差。文中给出了一块直径为1m的高精度平面镜的检测实例。
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