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Keywords: 电子光学,电子聚焦,象差理论,曲轴轨迹,轴外点扩散分布,大物面成象系统,点扩散函数,传递函数
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根据曲轴宽电子束聚焦理论,研究了一种用曲轴轨迹确定轴外点扩散分布的方法,这种新方法可在保持与传统方法相同的精度条件下,减少电子光学传递函数的计算量,提高计算速度,对大物面成象系统的计算具有实际意义。
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