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重庆大学学报 2007
基于原子力显微镜的纳米级表面粗糙度测量DOI: 10.11835/j.issn.1000-582X.2007.02.002 Keywords: 原子力显微镜,表面粗糙度,纳米级,数学模型,原子力,显微镜,纳米级,表面粗糙度测量,Based,Roughness,Measurement,Surface,Scale,结果,实验样品,处理,分析,数据,计算程序,微观结构,钢表面,观测,不锈钢,应用,粗糙度检测 Abstract: 简要介绍了评定表面粗糙度参数的基准线及其主要的两个轮廓高度评定参数,详细阐述了重庆大学研制成功的一种高精度原子力显微镜--AFM.IPC-208B型机的工作原理及其系统结构,着重论述了它在纳米级表面粗糙度检测上的应用.以不锈钢为实验样品,观测了不锈钢表面的微观结构,通过专用的计算程序,对所采集到的表面数据进行了分析和处理,得到了该表面的两个轮廓高度评定参数Rz和Ra值,最后对实验结果进行了简要的分析.
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