贵金属掺杂纳米偏锡酸锌气敏性能及其机理分析

运用共沉淀法制备出纳米ZnSnO3粉末，X射线衍射仪（XRD）分析为纯的ZnSnO3相，透射电镜（TEM）分析表明粒度达到纳米级。利用传统的旁热厚膜制备工艺制备了纯ZnSnO3及其掺杂贵金属的气敏传感器，测试了气敏性能。通过对气体吸附机理和扫描电子显微镜（SEM）对敏感层的分析解释气敏性能提高的原因。结果表明：Ag+、Pd2+的掺杂可提高器件对C2H5OH的灵敏度，对H2敏感度的提高达到15倍以上。掺杂阻碍了基体晶粒的长大，使其表面不规则且有较多气孔，这是气敏性能提高的主要原因。