高分辨率平面测试仪的研制

在实际应用中，平面测试仪主要用于工件的微米级测试，从而检验工件是否合格。高分辨率和高稳定度是平面测试仪研制的两大关键技术。采用分辨率扩展的方法可以提高分辨率；同时利用单片机和复杂可编程逻辑器件（CPLD）设计产生高稳定度的信号源，提高了系统的稳定度。内容包括工作原理，测试步骤和硬件设计，并介绍了提高精度的措施，主要由位移传感器，高稳定度信号源，单片机，信号处理单元四部分组成，具有高稳定度，高分辨率，低成本，操作简便的特点，目前已在重庆受拓利检测仪表有限公司正式投入使用。