微机械阵列滤波传声器的动态特性

对近年来硅微机械加工技术（MEMS）工艺研制的几种微传声器进行了论述，对其优缺点进行分析和研究表明：这些传统的传声器主要起声电转换的作用，对噪声信号的滤波处理是由专用滤波电路完成，或者用数字滤波进行处理，为此提出了一种硅微阵列滤波器传声器，在转换信号的同时实现滤波。讨论了阴尼和硅簧片根数对动态特性的影响，并由此得出：阻尼的增加会降低传声器的灵敏度，簧片根数的增加可以改善灵敏度曲线。而且在获取噪声信号的同时能够实现滤波。