绝对零位光栅——一种新型测量系统的检测元件

本文在普通增量式光栅测量系统工作原理的基础上,分析了绝对零位光栅测量系统的特点及二者之间的区别。文中重点论述了:1.绝对零位光栅尺的结构特点和工作原理。2.零位光栅线纹编码的基本要求。设计零位光栅时,确定各主要参数的原则。3.绝对零位光栅尺的工艺分析。文中提出了评定绝对零位光栅尺质量的主要指标,同时指出了动态光刻绝对零位光栅尺所必需解决的一些特殊问题。最后,对主要技术指标进行测试的结果证明本成果达到了预定的设计要求。