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ISSN: 2333-9721
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微重力环境下横向旋转磁场对热表面张力流的影响

DOI: 10.11835/j.issn.1000-582X.2012.03.019

Keywords: 横向旋转磁场,横向静态磁场,半浮区,热表面张力流,微重力

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Abstract:

微重力环境下外加磁场可以有效地控制浮区法晶体生长中的热表面张力流,从而提高半导体晶体生长的质量。在比较相同强度(7mT)的横向静态磁场与横向旋转磁场对热表面张力流影响的基础上,研究了外加横向旋转磁场(旋转频率50Hz)对三维半浮区熔体热表面张力流的控制。结果表明:横向旋转磁场对熔体产生周向搅拌作用和轴向抑制作用,其有助于三维热表面张力流转变为二维轴对称流动。浮区法晶体生长中,横向旋转磁场是一种比较理想的熔体对流控制方法。

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