反应等离子体制备碳锥及其表征

利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统，用CH4、H2和NH3为反应气体，分别在沉积有钛膜和碳膜的Si片衬底上制备了锥形碳结构，采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线能谱仪(EDX)和显微Raman光谱仪对其形貌和结构进行了表征。SEM结果表明在沉积有碳膜的Si片衬底上易形成碳锥，EDX谱和Raman谱进一步表明形成的碳锥为碳氮结构，由sp3C-N、sp2C和sp2C=N键形成。根据溅射机制和扩散机制，分析了碳锥的形成。同时，还对碳锥Raman谱的荧光背景进行了分析，结果表明由于氮的掺杂，使得碳锥由非极性的碳材料变成为极性碳材料。