高精度光栅刻划中的综合误差修正技术

在用线性系统和随机过程理论分析光刻机误差传递特性的基础上，采用时间序列分析法建立误差的数学模型，提出了综合误差修正的新方法，介绍了微机综合误差实时修正系统的电路结构与工作原理。其主要特点是，不仅能修正系统误差，而且能够根据对随机误差的预报来修正相关的动态误差。实验结果表明，系统修正精度达到±０．１μｍ。