谐振式微加速度计驱动和检测结构设计及制作

基于谐振式加速度计的工作原理和结构特点，设计了一种新型微加速度计谐振器，用解析法和有限元法计算了谐振器的横向驱动力以及其处于谐振状态时的检测电容值。综合粘性阻尼、运动阻尼和气膜阻尼，分析了谐振器在大气环境下的阻尼和品质因子。应用MEMS（microelectromechanicalsystem）工艺，完成了微加速度计谐振器的制作。测试结果表明：谐振器性能良好，谐振频率为54523.5Hz，与设计的理论值误差约为13.6％。