薄膜生长初期能量参数影响研究

用MonteCarlo模型模拟了亚单层薄膜在四方形基底上的生长过程．研究了在薄膜生长初期岛的形貌与周围原子作用之间的关系，及扩散原子周围不同位置处原子的势能参数对薄膜生长的影响．计算结果表明，扩散过程中，吸附原子受最近邻位置处原子作用的势能变化影响较大，而受次近邻位置处原子作用的势能变化影响较小；降低扩散原子最近邻位置处的能量参数，相当于升高了基底的温度．