降低高频电感耦合等离子体光源放电声响的简易方法

我们在用上海纸品二厂生产的GP3,5E型高频加热装置改装的30兆赫电感耦合等离子体光源工作时,发现在等离子体“点燃”后,发生一种很响的、频率较稳(约为数百赫)的声音,对操作者及在附近房间里的同志都有影响.我们用示波器发现这时的高频波形是被调制的,在我们的工作条件下调制深度约为50%.