氧化钨薄膜微型电化学器件的研究

本文论述了WO3薄膜氢离子敏器件的结构、原理、制备技术和测试分析。利用WO3薄膜在H+溶液中由绝缘转化为导电特性,成功地研制成氢离子敏器件。这是一种简易而经济的微型pH敏器件技术。