微电极阵列若干电化学特性的研究

用微电子平面工艺制备了带宽相边长分别为10、20、30μm的带形和正方形微电极阵列(BMEA和SMEA)。在K3Fe(CN)6溶液中研究了它们的电化学特性。边长为10μm的SMEA(工作电极总面积仅为9×10-3mm2)有最大的电流密度(12.1μA/mm2)和最短的响应时间(5s)。同一硅片中任选5个SMEA其H2O2工作曲线的线性范围为0.1～5mmol/L,平均斜率为220nA/mmol/L,斜率的相对标准偏差为16.1%。这些特性可能使它成为生物传感器的重要基础元件。