高纯气体中微量水份的气相色谱测定

大规模集成电路的发展,对高纯气体中微最水份的测定提出了更高的要求.本文就高纯气体中微量水份的气相谱测定条件进行了系统的研究,制订了一个简便可行的分析方法,并对科研生产中使用的高纯气体N2、H2、Ar中微量水份含量进行了测定,结果满意.