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ISSN: 2333-9721
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分析化学  2003 

扫描探针显微镜在纳米加工中的应用

, PP. 1127-1130

Keywords: 扫描探针显微镜,纳米加工,应用,评述

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Abstract:

扫描探针显微镜不仅能对材料表面形貌进行原子级观测,还能够对单个的分子、原子及纳米粒子进行操纵.本文综述了扫描探针显微镜在纳米加工中对自组装单层膜的扫描探针刻蚀以及"蘸写笔"两方面的应用情况.

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