电导法测定非晶态氮化硅薄膜中的氮

非晶态氮化硅薄膜是一种半导体太阳能电池材料,薄膜材料的性能与其中氮和硅的原子比密切相关.因此在材料制备和性能研究中必需进行氮、硅含量的测定.薄膜中氮的测定国外有采用俄歇能谱或二次离子质谱等方法,国内尚未见有关氮化硅薄膜分析方法的报道.