X-射线透射光谱定量分析

用X-射线荧光光谱仪对薄表面层的元素定量分析和测厚,人们已做过大量工作[1-4],还有人对基材与表面层中间的夹层质量吸收系数做过研究[5].也曾有人用X-射线透射法做过光谱定量分析[6-9].在前人工作的基础上,结合我们工作需要,采用吸收校正手段完成了X-射线透射法光谱定量分析.本方法具有原理简单、测试方便、不破坏样品等优点.对电镀、涂料和半导体等工业分析有一定的实用价值.