X射线光电子能谱谱图解迭软件

本文介绍了一个X射线光电子能谱谱图的解迭软件。该软件是为美国PHI公司X射线光电子能谱仪配置的,可以直接对能谱仪获取的实验谱图进行解迭,而且可以较容易地移植到其他系列的XPS能谱仪上。该软件是按最小二乘法的原理来进行拟合的,采用了高斯分布和劳伦兹分布的复合曲线作为拟合函数。它在PHI-550ESCA/SAM电子能谱仪上处理各种XPS谱具有运算低、使用方便的优点,结果表明该软件可以成功地应用于XPS谱图的解析。