线阵CCD微小尺寸测量的应用及误差分析

？利用线阵CCD可以进行一维无接触微小尺寸的测量，具体方法是建立经过衍射后的被测件尺寸与CCD视频输出的函数关系来达到对微小尺寸的高精度测量;并对该测量方法的误差进行了分析。