微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究

？本文提出了一种新的非接触式、高灵敏度微致动器输出力矩动态测试方法，以非接触测量代替接触测量，改间接测量为直接测量，最大限度地减少中间环节及测量影响因素，测量精度可提高一个数量级，测量范围可提高到10-4～10-7Nm.同时，设计了非接触、高灵敏度微致动器力矩动态测量仪，并对其中的两项关键技术一非接触微力制动和微力自动加载进行了论述，并给出了该仪器的实际测量结果。