精密设备系统主动隔振的基础理论与技术

？本文分析了精密设备隔振平台的激励环境，从理论分析角度将被动隔振和主动隔振的隔振传递率进行了对比，得出在超低频阶段主动隔振传递率远远低于被动隔振中的隔振传递率的结论。从应用技术角度阐述了精密隔振中广泛应用的超磁致伸缩驱动器的性能，并通过实验测得了其静态位移输出特性。此外，介绍了主动隔振系统常用的控制方法，给出了模糊PID方法的振动控制效果。