非平衡纳米复合等离子体镀膜法沉积ニ硫化钼复合膜的摩擦学性能的研究

？本文结合国内外固体润滑膜的发展趋势，以及当前材料发展中有关“多相材料”的新理念，提出了一种新的固体润滑膜沉积方法——非平衡纳米复合等离子体镀膜法(NCUPP)。采用该法成功地对几种材料（Ti、N、Mo、S等）进行精细的纳米复合，制备的固体润滑膜TiN-MoS2/Ti是多相纳米复合膜，其中的MoS2基本上呈准非晶态，掺杂物Ti与MoS2多相复合，形成了多相的纳米复合薄膜，具有良好的摩擦学性能，即摩擦系数低；耐磨损寿命长；抗潮湿氧化能力明显提高。