应用半导体激光器的尺寸测量系系统研究

？利用光学原理推导了位置尺寸与光学系统参数之间的关系和位置敏感器件PSD与光轴夹角之关系。在此基础上，提出了一辩采用半导体激光器作光源，PSD作光电接收嚣的尺寸测量系统，并通过实验对其精度进行了验证。