微波CVD法在硬质合金工具表面合成金刚石薄膜的研究

？采用微波CVD法对硬质合金表面金剐石的形核和金剐石薄膜的沉积进行了探索性研究，用激光喇曼谱仪对金刚石进行表征。研究了在硬质合金工具衬底沉积金刚石薄膜的结合强度。