化学气相沉积法制备钨管性能研究
, PP. 703-706
Keywords: 金属材料 ,化学气相沉积 ,钨 ,组织 ,性能
Abstract:
？以WF6、H2为原料，采用化学气相沉积法沉积制备出不同直径难熔金属钨管。对不同沉积温度（500℃，600℃，700℃）沉积制备钨管的纯度、密度、显微硬度、残余应力及钨管强度进行了测试与分析研究。研究结果表明：沉积制备钨管具有高纯度和高致密度；随着沉积温度、钨管半径（3~20mm）不同，显微硬度值在500~800HV之间；沿钨管圆周、半径方向存在较大残余应力；抗拉强度范围在300~500MPa.以WF6、H2为原料，采用化学气相沉积法沉积制备出不同直径难熔金属钨管。对不同沉积温度（500℃，600℃，700℃）沉积制备钨管的纯度、密度、显微硬度、残余应力及钨管强度进行了测试与分析研究。研究结果表明：沉积制备钨管具有高纯度和高致密度；随着沉积温度、钨管半径（3~20mm）不同，显微硬度值在500~800HV之间；沿钨管圆周、半径方向存在较大残余应力；抗拉强度范围在300~500MPa.
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