电镀金刚石线锯锯切轨迹的研究
, PP. 607-612
Keywords: 机械制造工艺与设备 ,电镀金刚石线锯 ,锯切轨迹 ,应力分析 ,轨迹方程
Abstract:
？基于冲量理论和振动加工理论，对电镀金刚石线锯锯切过程进行了分析，并对锯切过程中各个阶段的接触状态进行了有限元计算，得出在稳定接触状态下应力沿工件宽度方向分布均匀的结论。结合电镀金刚石锯切实验，采用叠加原理建立了锯切轨迹的数学方程，得到了轨迹计算曲线。通过与实际切割轨迹形貌的对比，计算曲线和实际轨迹曲线之间的误差小于15%，吻合程度较高，为金刚石线锯锯切工艺参数的优化提供了参考依据。基于冲量理论和振动加工理论，对电镀金刚石线锯锯切过程进行了分析，并对锯切过程中各个阶段的接触状态进行了有限元计算，得出在稳定接触状态下应力沿工件宽度方向分布均匀的结论。结合电镀金刚石锯切实验，采用叠加原理建立了锯切轨迹的数学方程，得到了轨迹计算曲线。通过与实际切割轨迹形貌的对比，计算曲线和实际轨迹曲线之间的误差小于15%，吻合程度较高，为金刚石线锯锯切工艺参数的优化提供了参考依据。
References
[1] ［1］ 徐慧，王俊家，刘继光, 等. 弧面石材垂直往复式锯机特性分析［J］. 石材，2003,(2)：11-15. [2] ［2］ 徐西鹏，黄辉，于怡青，等. 锯切过程中花岗岩与金刚石的摩擦效应［J］. 摩擦学学报，1999, 19(4)：304-310. [3] ［3］ 张辽远. 电镀金刚石线锯超声波切割实验装置的研制和加工机理的研究［D］. 长春: 长春理工大学,2007. [4] ［9］ 杨德仁，樊瑞新，姚鸿年,等. 硅晶片切割损伤层微应力的研究［J］. 材料科学与工程，1994，12(3)： 33-37. [5] ［11］ 孟剑峰，韩云鹏，葛培琪,等. 硬脆材料的环形电镀金刚石线锯加工试验研究［J］. 金刚石与磨料磨具工程，2007,159(3)：56-59. [6] ［12］ 向波，贺跃辉，谢志刚，等. 电镀金刚石线锯的研究现状［J］. 材料导报，2007,21(8):25-29. [7] ［4］ Clark W I, Shih A J, Hardin C W, et al. Fixed abrasive diamond wire machining-part I: process monitoring and wire tension force［J］. International Journal of Machine Tools and Manufacture,2003, 43(5):523-532. [8] ［5］ 田业冰. 硅片超精密磨削表面质量和材料去除率的研究［D］. 大连：大连理工大学，2005. [9] ［6］ 张辽远，贾春德，吕玉山，等. 金刚石线锯超声切割二氧化锆陶瓷的实验研究 ［J］. 金刚石与磨料磨具工程，2007,159(3)：64-66. [10] ［7］ 张辽远，贾春德，吕玉山. 电镀金刚石线锯的超声纵振动切割加工方法［J］. 兵工学报，2006,27(5)：900-902. [11] ［8］ 徐可伟，朱训生，赵波,等. 硬脆材料延性域切削的断裂力学有限元分析［J］. 上海交通大学学报，2001， 35(12)：1838-1841. [12] ［10］ 贺东溥，孟剑锋. 硬脆材料锯磨裂纹研究现状与降低措施［J］. 工具技术，2010,44(5)：43-45. [13] ［13］ Craig W， Hardin， Jun Qu， et al. Fixed abrasive diamond wire saw slicing of single crystal silicon carbide wafers［J］. Materials and Manufacturing Processes, 2004,19(2):355-367.
Full-Text
