制导弹药用微惯性测量单元结构设计

？针对制导弹药空间狭窄和发射过载高的环境特点,提出了一种基于微机电系统(MEMS)惯性器件的嵌入式一体化抗高过载微惯性测量单元(MEMS-IMU)结构设计方法。在分析MEMS-IMU结构设计原则和要求基础上,设计加工了MEMS-IMU结构并研制了惯性测量系统。该MEMS-IMU通过合理利用空间,极大地减小了体积和重量,同时采用一次性嵌入式的设计与加工方法,以及特殊的灌封材料与工艺,显著提高了结构的抗高过载性能。有限元分析结果表明该结构力学性能良好,马歇特落锤试验和地面炮击试验结果也表明该结构可满足制导弹药对MEMS-IMU的小体积和抗高过载等要求。