一种电容式高量程微机械加速度计的设计分析

？针对特殊场合的高g值加速度测试需求，提出了一种叉齿电容式高量程微机械加速度计的结构形式，采用面内敏感的变面积差动电容变化方式，并针对传感器固有频率、横向效应、量程和加速度灵敏度进行了设计分析。仿真结果表明：该加速度计量程200000g，固有频率266.2kHz，模态分离比大于2.5，0~10kHz通频带内加速度分辨率优于60g.基于硅-玻璃微机械工艺进行了加速度计微结构的流片加工、镜检测试和传感器的初步冲击实验验证。相比已有的高量程微机械加速度计，该设计具有线性度好、横向效应小、加速度灵敏度高和抗高过载能力强等特点。