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兵工学报 2014
CMOS兼容高Q值微机电系统悬浮片上螺旋电感DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2014.05.009, PP. 634-639 Keywords: 兵器科学与技术,微机电系统,CMOS兼容工艺,悬浮片上螺旋电感,Q值,无线电引信 Abstract: ？利用微机电系统（MEMS）表面微加工技术设计并制作了一种应用于无线电引信射频前端的CMOS兼容高Q值悬浮片上螺旋电感。电感的制作工艺在热预算和材料选择上均具有良好的CMOS兼容特性。通过采用铜金属悬浮线圈结构减小了片上螺旋电感损耗因素，显著提高了片上螺旋电感Q值。采用电磁场有限元分析软件HFSS对该电感模型进行了仿真研究，完成了悬浮片上螺旋电感的制备并进行了测量。测量结果表明：所设计的CMOS兼容MEMS悬浮片上螺旋电感Q值在1～7.6GHz测量频段均大于20，在7.4GHz频段最大值达到了38.
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