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, PP. 1183-1185
Keywords: 工程通用技术,红外增透与保护膜,真空镀膜,离子辅助沉积
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?采用电子束真空镀膜和离子辅助沉积的方法,在口径Φ150mm,厚度6mm且具有较大曲率的多光谱ZnS导流罩上,镀制红外增透保护膜。所镀膜层在3~5μm平均透过率高于90%,在8~10μm平均透过率高于92%,并且能够承受恶劣的环境测试。
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